- 64-3600 초고순도, 고감도 감압 레귤레이터
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64-3600 초고순도, 고감도 감압 레귤레이터
ultra high purity, highly sensitive pressure reducing regulator
적은 압력 저하, 결합된 다이어프램 구조, 10 Ra / 0.25마이크로미터 표면 마무리와 함께 Hastelloy® 트림을 제공합니다.
주입구 압력은 600 또는 3500psig/41.4 또는 241bar이며, 배출구 압력은 최대 150psig/10.3bar입니다.
1/4" POU(사용점), 가스 캐비닛, 반도체 제조, 밸브 매니폴드 박스에서 사용하기에 이상적입니다.
사양
압력 레이팅
최대 주입구 압력: 600 또는 3500psig/41.4 또는 241bar
배출구 압력 범위: 30, 60, 100, 150psig/2.1, 4.1, 6.9, 10.3bar
재질
본체" 316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마
다이어프램: Hastelloy®
밸브 시트: PCTFE, Teflon PFA® 또는 Vespel®
스템 및 밸브 스프링: 316 스테인리스 강
나머지 부품: 316 스테인리스 강 또는 Hastelloy®
운영 온도
Teflon® PFA시트: -40~160°F/-40~71°C
Vespel® 시트: -40~350°F/-40~177°C
PCTFE 시트: -40~140°F/-40~60°C
포트 크기 및 유형
1/4, 1/2
수형 스위블, 암형 스위블, 수형 고정, HPIC
1/4 튜브 스터브
유량 용량
Cv = 0.15 또는 0.06
무게
2lbs/0.9kg
특징
10 Ra 마이크로인치/0.25마이크로미터 내부 표면 마무리
금속-금속 씰(높은 누출 무결성을 위한 다이어프램-본체 씰)
완전한 내부 전해 연마 제공
반도체 가스 시스템에서 압력 변동을 줄이도록 설계되었습니다.
POU(사용점) 및 실린더 설비에 대한 엄격한 반도체 요구 사항을 충족합니다.
응용 분야
1/4" 사용 지점
가스 캐비닛
반도체 제조
밸브 매니폴드 상자
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