- VDM
- 내용
Bronkhorst High-Tech B.V.는 반도체, 화학 및 태양광 산업과 같은 시장 내에서 다양한 애플리케이션을 위한 질량 흐름 제어 솔루션을 공급한 다년간의 경험을 보유하고 있습니다. Bronkhorst의 기기는 실험실, 산업 시스템 또는 OEM 설치에 적합한 스타일로 고객의 사양에 맞게 주문제작됩니다. Bronkhorst® 열식 질량 유량계/컨트롤러는 0.7 mln/min에서 최대 10.000 m3n/h(전체 규모 값)까지의 유속을 다루는 반응성 가스는 물론 불활성 가스의 정확하고 반복 가능한 제어에 사용됩니다. Bronkhorst는 열식 질량 유량 센서를 기반으로 5 mg/h에서 1000 g/h까지, 그리고 Coriolis 질량 유량 센서를 사용하여 50 mg/h에서 600 kg/h까지의 작은 유량 범위를 위한 액체 유량계/컨트롤러를 제공합니다.
VDM 시리즈: 증기 전달 모듈
VDM(Vapour Delivery Modules)은 CEM 기술을 기반으로 설계한 일련의 증기 전달 모듈로, 이 소형 하위 시스템은 CEM 시스템과 추가적인 구성 요소가 포함되어 있습니다. 가스 및 액체 흐름 컨트롤러와 온도 제어 증발기 외에도 VDM 시리즈에는 디스플레이(1.8인치 TFT) 및 제어 기능이 있는 통합 전원 공급 장치가 있습니다. 옵션으로 장치는 나가는 증기 흐름의 응축을 방지하기 위해 로컬 또는 원격 추적 가열 온도 제어를 제공합니다. 소형의 '플러그 앤 워크' 모듈은 100ml n/min에서 최대 10l n/min 범위 내에서 (포화) 증기 흐름을 생성할 수 있습니다. 대기 또는 진공 공정에 적용할 수 있으며 용매에 용해된 혼합물 및 고체를 증발시킬 수 있습니다.
추가 기능(별도의 CEM 시스템 구성 요소와 비교)
고객의 엔지니어링 시간 단축
사전 테스트를 거쳐 안전하며 바로 사용할 수 있습니다.
판독/제어판, 포함. 1,8" TFT 디스플레이, 알람/시그널링 및 카운터 기능.
통합 필드버스 인터페이스(옵션)
옵션
이중 캐리어 가스 공급
희석 가스 공급
추적 가열 온도 제어 포함. 상태 표시
모듈 구성
VDM 시리즈 모듈은 표준화되었습니다. 다음 구성 옵션을 제공합니다.
단일 운반 가스 공급, 희석 없음(표준)
이중 캐리어 가스 공급, 희석 없음
희석된 단일 운반 가스 공급
희석된 이중 운반 가스
액체 흐름 제어를 위한 열 또는 코리올리 질량 유량계
애플리케이션
당사의 CEM 및 VDM 시스템은 다양한 시장의 다양한 애플리케이션에 성공적으로 적용되었습니다. 예를 들어, 공구(드릴, 드라이버, 톱날 등) 및 기계 부품은 내마모성을 향상시키기 위해 코팅되고, 반도체 및 태양 전지 제조 공정에서 전기 및 유전체(절연) 층이 증착되고, 글레이징의 단열성이 향상됩니다. 표면에 코팅을 하여 반응기/공정 챔버의 습도를 제어하여 최적의 성능을 보장합니다.
CVD(Chemical Vapour Deposition; 화학 기상 증착)
화학 기상 증착(CVD)은 고순도, 고성능 고체 물질을 생산하는 데 사용되는 화학 공정입니다. 이 공정은 반도체 산업에서 LED, 트랜지스터, DRAM용 박막을 생산하는 것뿐만 아니라 표면 처리, 경화 공정 및 고온 초전도체 제조에도 사용됩니다. 전형적인 CVD 공정에서, 표면(웨이퍼 또는 기판)은 원하는 증착물을 생성하기 위해 기판 표면 상에서 반응 및/또는 분해되는 하나 이상의 휘발성 전구체에 노출된다.
Bronkhorst의 증기 흐름 제어 솔루션은 다양한 유형의 CVD 공정에 사용됩니다. 예를 들어:
ALD(Atomic Layer Deposition) 또는 ALCVD(Atomic Layer CVD): 층을 이루는 결정질 필름을 생성하기 위해 서로 다른 물질의 연속적인 층을 증착합니다.
APCVD(Atmospheric pressure CVD): CVD는 대기압에서 처리됩니다.
MOCVD(Metal Organic CVD) - 금속 유기 전구체를 기반으로 하는 CVD 공정.
PECVD(Plasma-Enhanced CVD): 플라즈마를 활용하여 전구체의 화학 반응 속도를 향상시키는 CVD 공정.
가스 가습 지정
CEM 기술은 이슬 또는 습기의 정확한 조정에 이상적으로 적합합니다. 넓은 다이내믹 레인지와 높은 정확도의 고유한 특성은 수분 수준이 이슬점에서 매우 높은 안정성을 유지하면서 몇 ppm에서 최대 100%까지 매우 유연하게 제어될 수 있도록 합니다. 최대 100bar의 작동 압력에서도 전체 기능이 유지됩니다.
가스 크로마토그래프, 질량 분석기 및 가스 센서 교정
액체용 질량 흐름 컨트롤러와 CEM 시스템의 조합을 통해 원하는 대로 기상 농도를 생성할 수 있습니다.
따라서 질량 분석기 또는 가스 크로마토그래프는 CEM의 기준 스트림이 질량 흐름 컨트롤러의 직접 작용으로 인해 재현성과 정확도가 높기 때문에 보정할 수 있습니다.
응용분야
기준 가스 증기 농도가 있는 분석기
보호복에 대한 유독 가스 영향
기준 H2O 증기 농도가 있는 분석기
마취제
연료 전지의 가습
수정 사육 시설
첨가물 혼합, 예) 향수, 비타민 등
