ENGLISH SITEMAP CONTACT US

DWYER

TESCOM

HOKE (Gyrolok)

BRONKHORST

BLUE WHITE

CIRCLE SEAL

QUICK COUPLING

APOLLO VALVES

MANOSTAR

H2SCAN

DEKORON UNITHERM

CPC-CRYOLAB

TUBES

도면제작


 현재위치 : 제품안내 > BRONKHORST > GAS flow meters & controllers
 



이전상품 다음상품

 
EL-FLOW Metal Sealed Series
제조사 BRONKHORST

영업담당
제품문의
첨부파일 metal-sealed.pdf


 


General

Metal Seal Gas Mass Flow Meters and Controllers of Bronkhorst High-Tech are characterised by their unique, patented metal-to-metal seal construction with excellent resealing capability. Furthermore they distinguish themselves by a high surface quality and are therefore especially suitable for meeting the semiconductor and solar industry requirements as well as other high purity gas applications. The base blocks of the Mass Flow Meters and Controllers have 1/4" face seal male (VCR) or downport process connections.

lowest range 0,1...5 mln/min
highest range 0,6... 100 ln/min

Metal Sealed Mass Flow Meter/Controller with fieldbus interface

Todays instruments are equipped with a digital pc-board, offering high-accuracy, excellent temperature stability and fast response (settling time t98 down to 500 msec). The latest EL-FLOW® design features Multi Gas / Multi Range functionality, providing (OEM-) customers with optimal flexibility and process efficiency. For the convenience of the customer Bronkhorst provides easy to use configuration software.

Features

  • High accuracy (standard ±0,5% Rd plus ±0,1% FS)
  • Resealable metal-to-metal outer seal construction (no rings) 
  • Electropolished wetted parts
  • Cleanroom assembled
  • Multi Gas / Multi Range functionality
  • Analog and digital I/O, with optionally integrated interface to
    DeviceNet™, Profibus-DP®, Modbus, EtherCAT® or FLOW-BUS
  • Super stable zero (no need for auto-zero circuit)
  • High accuracy and repeatability

Flow capacities (based on air)

Mass Flow Meter (MFM)

Ranges

Model F-111CM (1/4" VCR) min. 0,1 ... 5 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
Model TA-111CM (Topmount) min. 0,1 ... 5 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min

Mass Flow Controller (MFC)

Ranges

Model F-201CM (1/4" VCR) min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
Model TA-201CM (Topmount) min. 0,2 ... 10 mln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min


Brochure

METAL SEALED Digital Mass Flow / Pressure Meters and Controllers

F-201CM metal sealed MFC
F-201CM metal sealed MFC





F-111CM metal sealed MFM
F-111CM metal sealed MFM







● 배송료는 착불입니다.
● 구매자 사정으로 교환이나 환불을 할 경우 왕복 배송료는 구매자 부담입니다.
● 배송은 결제확인후 1일~4일입니다.
● 화물배송을 원하시면 업체명(대신화물/경동화물 등)과 수령하실 영업점명을 담당자에게 알려 주시면 됩니다.





교환 및 반품이 가능한 경우

● 상품등을 실제 받으신 날로부터 7일 이내.
(※ 포장을 개봉하여 사용하거나 또는 설치완료가 되어 상품의 가치가 훼손된 경우에는
반품 및 교환이 불가하오니 이점 양해하여 주시기 바랍니다.
단, 상품의 내용을 확인하기 위하여 포장을 개봉한 경우에는 교환 및 반품이 가능합니다.)
● 받으신 상품의 내용이 표시·광고 사항과 다른 경우에는 상품등을 받으신 날로부터 3개월 이내.
● 전자상거래등에서의소비자보호에관한법률에 규정되어 있는 소비자 청약철회 가능범위에 해당되는 경우.
● 기타, 고객님의 단순한 변심에 의해 상품의 교환 및 반품을 요청하시는 경우에는
고객님께서 상품 반송에 소요되는 비용을 실비로 부담하셔야 하오니 이점 양해하여 주시기 바랍니다.


교환 및 반품이 불가능한 경우

● 고객님의 책임있는 사유로 상품등이 멸실 또는 훼손된 경우.
● 고객님의 사용 또는 일부 소비에 의하여 상품등의 가치가 현저히 감소한 경우.
● 복제가 가능한 상품등의 포장을 훼손한 경우.
● 기타, 전자상거래등에서의소비자보호에관한법률이 정하는 소비자 청약철회 제한에 해당되는 경우.